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伯东普发涡轮分子泵Hipace 1000-2000
发布时间:2014-12-05[收藏]
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德国普发 Pfeiffer 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点:

1. 四种抽速,抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求,耐粉尘
4. 高气流量,即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元,可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准介面介面:RS-485 以及远端控制;Profibus 或者 Dev**Net 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准,适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域:
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜


分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品规格:

型号

连接尺寸 DN

抽速 l/s

压缩比

启动压强mbar

冷却
方式

启动
时间

重量

进气口

出气口

氮气N2

氦气He

**气 H2

氮气 N2

氮气N2

 

min

kg

HiPaceTM 1200

200

40

1,250

1,300

1,100

>108

2

水冷

2.5

40

HiPaceTM 1500

250

40

1,450

1,350

1,150

>108

2

水冷

2.5

41

HiPaceTM 1800

200

40

1,450

1,650

1,700

>108

1.8

水冷

4

34

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