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磁控溅射电阻镀膜机,磁控溅射电阻镀膜设备
发布时间:2013-10-28[收藏]
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磁控溅射电阻镀膜机,磁控溅射电阻镀膜设备

 

主要用途
是生产各种金属膜电阻及氧化膜电阻的**设备,可以完成高、中、低不同阻值的镀膜工艺。

主要组成
设备由真空室、真空机组、直流溅射源、射频溅射源、分流式滚筒、充气装置、真空测量及其它辅助装置等组成。

主要特点
生产能力大,根据型号的不同,每炉可镀制装载量达分别为1011Kg2025Kg3040Kg左右的瓷体。
磁控溅射源工作特性稳定**,沉积速率高,阴极体采用可变磁场,大大提高了靶材的利用率,在40%以上。
根据不同电阻值和工艺要求配置不同溅射源,工艺适应性强。如配置射频溅射源可镀制介质膜,配备离化源可镀制氧化膜。
采用特殊分流式滚筒,瓷体镀制膜层均匀,阻值集中。
如配用PLC可编程控制,设备自动化水平提高,性能更加**,操作更为简便。
调节沉积室的气氛可控沉积膜的阻值和TCR(温度系数);镀制后电阻在合适的后调整热处理后TCR可接近于零。

上海沃家真空设备科技有限公司是国内**的真空镀膜工程集成供应商,紧紧围绕客户需求持续创新,为客户创造价值。我们对**伙伴开放合作,在新能源新材料、建筑/汽车、精密制造、重工/**等领域构建技术与服务优势。我们致力于为企业、科研院所、薄膜涂层加工中心等提供有竞争力的综合解决方案和服务。

本公司产品主要有:连续式磁控溅射镀膜生产线、平面弧工模具硬质涂层设备、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、中频磁控溅射镀膜机、多弧离子镀膜机、光学镀膜机等系列真空镀膜设备。产品**用于太阳能、半导体、Low-E玻璃、光电、平板显示、工模具、钟表五金、3C产品、塑料、陶瓷等。本公司拥有**的研发体系、生产制造体系及客户服务体系,并聘请国内外多位知名**。目前,产品**全国各地及海外,工艺应用于数百家客户。

公司是全体员工价值实现和价值提升的平台,致力于为客户提供**环保的表面处理解决方案,进一步整合公司内外资源,加大研发投入,不断推出新技术、新产品,以满足国内外市场需求,创造的社会、经济和环境效益。

联系人:林先生

手机:13918799959                

邮箱:info**vakia**

总机:021-57721278                       

销售电话:021-57745899 /021-57728812                       

传真:021-57746698                              

全国热线:4001-012-069

邮编:201614                                 

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公司地址:上海市松江科技园区昆港公路888号光塑工业园

 

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